【摘 要】
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MEMS技术作为一种新兴的高端制造技术受到全球的重视,成为研究热点。随着TiAl合金薄膜的研究和应用发展,其优异的高温力学性能和抗腐蚀性能提高了MEMS系统的应用范围。阐述了
【机 构】
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同济大学材料科学与工程学院,上海市金属功能材料开发应用重点实验室,
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MEMS技术作为一种新兴的高端制造技术受到全球的重视,成为研究热点。随着TiAl合金薄膜的研究和应用发展,其优异的高温力学性能和抗腐蚀性能提高了MEMS系统的应用范围。阐述了TiAl合金薄膜的制备技术,生长模式和微观结构,并介绍了TiAl合金薄膜在MEMS上的应用研究进展。
MEMS technology as a new high-end manufacturing technology has been the world’s attention, has become a research hotspot. With the development and application of TiAl alloy thin films, its excellent high temperature mechanical properties and corrosion resistance improve the application range of MEMS systems. The preparation technology, growth mode and microstructure of TiAl alloy thin film are expounded. The application of TiAl alloy thin film on MEMS is also introduced.
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