【摘 要】
：
还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法,可与改良西门子法工艺技术有机结合生产多晶硅,对解决目前国内多晶硅所面临的生产成本高、产品质量低下等问题具有非常重要的意
论文部分内容阅读
还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法,可与改良西门子法工艺技术有机结合生产多晶硅,对解决目前国内多晶硅所面临的生产成本高、产品质量低下等问题具有非常重要的意义。本文总结了改良西门子法、硅烷流化床法和气液沉积法生产多晶硅的工艺技术,分析了各自的优缺点和发展方向。指出了目前的改良西门子法核心设备的改进方向和应用还原高频电源技术、硅烷流化床技术需在加热方式上做进一步开发研究,气液沉积法可与现有的多种工艺技术相结合形成多种工艺路线,其中二氧化硅经碳热氯化法制备四氯化硅后,与氢气还原四氯化硅法相结合制备多晶硅,是值得研究开发的一种新工艺路线。该工艺路线不仅工艺流程大大缩减,而且四氯化硅的提纯比其他氯硅烷更容易,生产的多晶硅产品质量更高、成本更低。
其他文献
为探讨室内观叶植物净化甲醛污染的能力，本实验选用了吊兰（Chlorophytumcomosum）、常春藤（Hedera nepalensis var.sinensis）、绿萝（Scindapsus aureum）、广东万年青（Aglaonema modest
我国已进人深度老龄化社会,老年人口数量急剧增长。由于老年人身体机能的衰减及现阶段我国养老设施的消防设计适应性不足、人员的消防意识淡薄等问题,近年来养老院火灾事故时
目前财务报表分析的应用越来越广泛，它在企业利益相关者进行各项决策时起到了非常重要的作用。如何进行财务报表分析，在理论界和会计实务中也有着广泛地探讨。但对于EPC总承包
目的了解胃粘膜癌前病变在不同人群、不同病变的发生情况,以指导临床诊疗。方法选择胃镜下发现胃粘膜有较明显变化(如糜烂、出血点、疣状隆起、溃疡、癌肿、息肉)的病人进行
松节油是世界上最主要的植物精油,具有很高的应用价值。α-蒎烯和β-蒎烯是松节油最主要的两个组成成分,以这两个化合物为原料,经过多种化学反应途径,可以合成众多具有高附加
在过渡金属配合物中,二茂铁类衍生物是一类具有很好的光电功能的化合物。长期以来,有关其光电性质的实验和理论研究颇多,这类化合物在非线新光学领域一直是个研究的热点化合
简述了商标翻译是一种跨文化的交流，它涉及民族心理、文化特色、审美价值等诸方面的因素，介绍了几种常见的商标翻译法，并且提出了怎样才能实现富有活力和创造性的等效翻译法．
犬膨大性心肌症(DCM)是以心室功能受损，心房室都显著膨大为显著特征的犬常见疾病。尽管此病的发病率非常高，但该疾病的的遗传机制研究较少。本研究利用基因集富集分析(GSEA)的
针对面向对象的高光谱分类方法中分割参数设置问题，提出了一种基于区域增长技术的自适应高光谱分类算法。首先提出了带约束的区域增长方法，利用已知训练样本的空间信息，提供有效
热舒适评价通常采用的是主观调查方法，该方法较为简便可靠，但其评价结果受人的主观因素影响较大。因此考虑引入生理参数作为评价指标，生理参数可以客观反映人体发生的变化，不受主