【摘 要】
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本文针对现有电子束曝光机在图形处理过程中存在的一些问题，提出了以辅配微机来增强原机处理能力的方法。对曝光机的图形处理过程及异机通讯等问题作了较详细的介绍。
In thi
【机 构】
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中国科学院电工研究所!北京100080,中国科学院电工研究所!北京100080,中国科学院电工研究所!北京100080
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本文针对现有电子束曝光机在图形处理过程中存在的一些问题，提出了以辅配微机来增强原机处理能力的方法。对曝光机的图形处理过程及异机通讯等问题作了较详细的介绍。
In this paper, some problems existing in the existing electron beam exposure machine in the graphics processing are presented, and a method of using the auxiliary computer to enhance the processing capability of the original machine is proposed. The exposure of the graphics processing and communication and other issues made a more detailed introduction.
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