论文部分内容阅读
文章从超声扫描检测技术的原理出发,详细叙述了不同模式的超声扫描对IGBT模块的无损检测功能。超声扫描检测技术不仅可发现IGBT模块中的空洞、脱附等界面潜在缺陷,还可以采用表面平整度分析、模块内部构造模拟、厚度测量等方法发现IGBT模块的结构缺陷,这些缺陷的表征对评估IGBT模块质量具有重要意义。