【摘 要】
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研究了激光掺杂选择性发射极太阳电池工艺中不同激光功率对磷原子掺杂浓度、硅片表面损伤程度的影响及发射极方阻与电池串联电阻随激光功率的变化情况.通过对磷原子浓度分布
【机 构】
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华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室,北京,102206;华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室,北京 102206;云南临沧鑫圆锗业股份有限公司,昆明 650106
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研究了激光掺杂选择性发射极太阳电池工艺中不同激光功率对磷原子掺杂浓度、硅片表面损伤程度的影响及发射极方阻与电池串联电阻随激光功率的变化情况.通过对磷原子浓度分布曲线的观察,阐明了磷原子浓度对选择性发射极电池性能的影响机理;通过对比不同激光功率掺杂条件下选择性发射极电池特性的变化,发现激光功率在40～50 W时电池的串联电阻达到最低,且串联电阻值随激光功率的增强而升高.通过实验确定了最优激光掺杂功率,并对生产线各工序参数进行整体优化,实现了使电池产业化效率稳定提升0.25％以上的激光掺杂选择性发射极太阳电池制备工艺.
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