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对808nm大功率半导体激光器腔面硫钝化处理的工艺进行了研究，发现腔面硫钝化可以提高激光器的输出特性以及其可靠性．输出功率提高了16．7％；经过1500h老化实验后，硫钝化的半导体激光器没有明显退化，而未处理的激光器退化严重．输出功率降低了36．8％。实验表明，硫钝化时间对激光器钝化效果有很大影响，激光器腔面硫钝化时间过长会造成其损伤，使其可靠性反而下降；硫钝化5min效果为最佳。