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采用两步生长法用金属有机物气相外延技术在GaAs（100）衬底生长InP，用原子力显微镜探索了退火和未退火的低温缓冲层以及InP外延层的表面形貌，测量了他们的表面均方根值，讨论了低温缓冲层表面形貌随生长温度的变化以及退火对其表面形貌的影响，并分析外延层与低温缓）中层表面形貌的依赖关系，外延层表面形貌均方根值与XRD测量值一致，在450℃生长低温缓）中层，外延层有最好的表面形貌。