激光诱导聚酰亚胺薄膜表面制备周期性纳米结构

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通过Nd:YAG激光器四倍频266nm偏振脉冲激光的扫描曝光,在聚酰亚胺表面制得了大面积的精度为0.2μm的周期性纳米线条,实验结果表明:随着激光能量密度的增加,纳米线条的深度增加;线条的周期性和入射光的角度符合关系式Λ=λ/(n-sinΦ);周期性纳米线条的方向始终平行于偏振激光束的偏振平面方向;在20°入射角,40mW激光功率时能得到较理想的线条高宽比。
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