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室温下，结合正交实验表，用射频磁控溅射在涤纶（PET）非织造布基材上生长AZO（AlO3：ZnO）纳米结构薄膜。采用四探针测量仪测试AZO薄膜的方块电阻，用原子力显微镜（AFM）分析薄膜微结构；通过正交分析法对实验L9（3^3）AZO薄膜的性能指标进行分析。实验结果表明：溅射厚度对AZO薄膜导电性能起主导作用，其次为氩气压强和溅射功率；同时，得出制备AZO薄膜的最佳工艺为：溅射功率150W、厚度100m和气压0．2Pa，该参数下样品的方块电阻为1．633×10^3Ω，AZO纳米颗粒的平均直径约为