【摘 要】
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以石墨为代表的碳基材料， 由于其良好的高温性能及自溅射率低等优点，长期以来作为低Z面对等离子体候选材料之一而倍受关注。但是它具有较差的可焊接性、较高的化学溅射率、高的
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以石墨为代表的碳基材料， 由于其良好的高温性能及自溅射率低等优点，长期以来作为低Z面对等离子体候选材料之一而倍受关注。但是它具有较差的可焊接性、较高的化学溅射率、高的氢吸附率以及热解吸过程中产生大量甲烷等碳氢化合物对等离子体的杂质控制产生不利影响等缺点，使石墨的应用受到极大的限制。近年来，采用掺杂技术对石墨作为面对等离子体材料的性能有了较大的改善，如化学溅射率显著降低，而面对等离子体材料与基底材料的焊接有希望通过梯度功能材料得以改善。目前，国内这方面的研究也取得了许多进展，如已研制出具有良好抗氢离子化学溅
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