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激光准直技术已广泛应用于大型工件直线度、同轴度、平面度等形位误差的测量.本论文主要介绍近年来激光准直技术的最新发展,如反馈控制法、无衍射光莫尔条纹法等.这些激光准直技术从理论到实践都较好地克服了激光漂移、大气环境对激光准直的影响,较好地满足了长距离高精度形位误差测量的要求.
长距离高精度激光准直技术的最新发展
【摘 要】
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激光准直技术已广泛应用于大型工件直线度、同轴度、平面度等形位误差的测量.本论文主要介绍近年来激光准直技术的最新发展,如反馈控制法、无衍射光莫尔条纹法等.这些激光准
【机 构】
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北方交通大学理学院
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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2002年z2期
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