【摘 要】
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在双极性功率半导体器件如晶闸管的制造工艺中,需要对经过激光割圆工艺切割后的芯片进行喷砂整形,以符合后续工艺对外现形状的精密要求,目前工艺中使用的喷砂设备的喷嘴进给
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在双极性功率半导体器件如晶闸管的制造工艺中,需要对经过激光割圆工艺切割后的芯片进行喷砂整形,以符合后续工艺对外现形状的精密要求,目前工艺中使用的喷砂设备的喷嘴进给系统均采用手动丝杆调节,难以保证加工的一致性和精度要求.现采用直线位移传感器作为进给位置反馈元件,伺服系统作为执行机构,应用自动控制理论,设计包含速度控制内环和位移控制外环的双闭环机械手系统,该系统能采样并模拟人工连续进给柔性操作过程,实现工艺过程的智能化,提高了产品的加工制造水平.
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