梳齿式微加速度计优化设计与仿真分析

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给出了多学科层级优化算法模型,对梳齿式微加速度计的结构参数进行了优化设计,对优化前后的梳齿式微加速度计进行了有限元仿真分析。优化设计结果表明,微加速度计的工作性能有明显提高.有限元仿真分析结果验证了多学科层级设计优化方法的有效性。
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