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采用波长为172nm的紫外光使PET膜表面官能化，然后自组装APTES单分子膜（SAMs），再在真空条件下通过紫外光刻蚀对PET膜表面的SAMs进行微加工，最后进行选择性无电解镀铜处理。通过测量水接触角和XPS分析，表征了PET膜经各步处理后的表面状态，并观察了镀铜后的微铜图案。结果表明：紫外光照使PET基材表面改性，通过紫外光刻蚀技术，对SAMs的微加工可以控制铜在PET表面选择性沉积，从而一次性制备出保真性较好的微米级镀铜图案。