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扫描电子显微镜放大倍数校准方法研究
扫描电子显微镜放大倍数校准方法研究
来源 :仪器仪表用户 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huwei00
【摘 要】
:
随着科技的发展进步,扫描电子显微镜现有检定规程提出的部分校准方法已不适用。本文对扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准提出了新的方法和计算过程,利用像素坐标表征标记
【作 者】
:
徐小芳
李小冲
【机 构】
:
清华大学深圳国际研究生院
【出 处】
:
仪器仪表用户
【发表日期】
:
2021年3期
【关键词】
:
扫描电子显微镜
放大倍数
校准方法
像素
scanning electron microscope
magnification
calibration meth
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随着科技的发展进步,扫描电子显微镜现有检定规程提出的部分校准方法已不适用。本文对扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准提出了新的方法和计算过程,利用像素坐标表征标记线长度,以减少图像输出及测长仪使用过程中引入的误差。
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