论文部分内容阅读
反应离子刻蚀(RIE)的二维物理模型,包括各向同性和各向异性两部分.该速率公式的参数由实验提取,随RIE工艺参数而变化.采用线算法和C++编写用于模拟RIE刻蚀的计算机模拟软件,该软件可以对各种不同的起始条件进行模拟.对公式中的角度计算过程中可能出现的各种情况分别进行了讨论.为了确保软件的精度和稳定性,算法采用了添加点和减少点的方法,最后给出模拟软件的模拟结果,与实验结果比较吻合.