【摘 要】
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四、pH-ISFET敏感膜制备 如前所述,离子敏器件敏感膜的质量直接影响着器件的响应灵敏度、阈值电压等一系列性能参数及其稳定性。因此,在电学性能合格的场效应管上制作高质量
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学
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四、pH-ISFET敏感膜制备 如前所述,离子敏器件敏感膜的质量直接影响着器件的响应灵敏度、阈值电压等一系列性能参数及其稳定性。因此,在电学性能合格的场效应管上制作高质量的敏感膜就成了ISFET制作的最关键工序之
Fourth, the pH-ISFET sensitive membrane preparation As mentioned earlier, the sensitivity of the ion sensitive device membrane directly affects the device response sensitivity, threshold voltage and a series of performance parameters and their stability. Therefore, making a high-quality, sensitive film on a field-effect transistor with good electrical properties has become the most critical process for making ISFETs
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