【摘 要】
：
对宽禁带半导体材料碳化硅薄膜的异质外延工艺和反应机理进行了讨论,针对实验使用常压水平卧式反应室,分析了生长过程中气流流速分布、反应室内温度分布以及反应气体浓度分布
论文部分内容阅读
对宽禁带半导体材料碳化硅薄膜的异质外延工艺和反应机理进行了讨论,针对实验使用常压水平卧式反应室,分析了生长过程中气流流速分布、反应室内温度分布以及反应气体浓度分布,指出"汽相结晶"过程对薄膜生长区Si/C比例有很大影响,从而影响了碳化硅薄膜的生长速率,在SiC薄膜的生长过程中,对Si/C原子比例的控制一直是影响薄膜表面形貌和膜层掺杂浓度的重要因素.这很好地解释了薄膜生长过程中出现的异常现象.
其他文献
用快速凝固和热压烧结方法制备了三种不同成分的P型高锰硅(HMS)材料MnSi1.75-x(x=0,0.02,0.04).微观组织结构分析表明,在Mn4Si7半导体相基体中,存在小区域平行分布的薄片状Mn
目的探讨套入法结肠切除吻合术的手术方法和临床价值。方法 142例结肠癌和结肠损伤患者用随机数字表法分成两组,研究组64例采用套入法一期结肠切除吻合术,对照组78例采用传统
目前，上汽集团对外宣布，与中国铁路总公司签署了战略合作协议，双方将共同打造覆盖全国的多式联运服务开放平台。上汽集团作为一家以汽车生产制造为主的企业，正在向“全方位汽车产
采用化学溶液沉积法，以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料成功地制备了 Bi2Ti2O7介质膜。制膜过 程简单，成本低廉，得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数，用其制备的绝缘栅场效应管
近年来，解放滩财税所紧紧依靠镇党政领导，以创新财税组织管理体制为切入点，率先在全旗实行新的财税组织管理体制，成功地推出了解放滩镇财税管理新模式，其核心内容是：以财税合署办公
北京新能源汽车股份有限公司（以下简称“北汽新能源”）总经理郑刚近期正式对外公布北汽新能源B轮融资完成情况。本次融资募集资金为111．18亿元，远超年初预计的80亿元目标，本次增资
9月11日,北京经信委、发改委、科委、城市管理委、质监局联合发布了《北京市推广应用新能源商用车生产企业及产品备案管理细则》。《细则》对新能源商用车生产企业提出了九大
As a new material to be used widely in catalytic field, γ-Mo<sub>2</sub>N with high specific surface area(usually, S<sub>BET</sub>】100 m<sup>2</sup>·g<su
利用热灯丝化学气相沉积方法在光滑的钼上沉积了金刚石膜。用扫描电子显微镜和Raman谱对金刚石膜进行了分析，结果表明金刚石膜是由许多金刚石晶粒组成，晶粒间界主要是石墨相，并
以“新科技，新生活”为主题的第15届中国（广州）国际汽车展览会（以下简称“广州车展”）虽已然落幕，但作为一年一度的中国汽车界年终盛会，“广州车展”以其紧贴中国市场的“风向标”作用而备受关注。可以说，“广州车展”既是中国车坛2017年的收官之战，又是2018年的布局之战。 透过本届车展的1081款参展车辆（其中全球首发车达47台，量产新车50余款），通过梳理车企所发布的战略，我们也可以“零距离”地