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阴极真空弧放电产生高密度等离子体的同时，也产生尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应有和，为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴，结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本上被过滤掉了，该处离子束流达到１２０ｍＡ。
阴极真空弧放电等离子体的过滤及传输
【摘 要】
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阴极真空弧放电产生高密度等离子体的同时，也产生尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应有和，为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出
【机 构】
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北京师范大学代能核物理研究所
【出 处】
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北京师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1996年3期
【基金项目】
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国家＂八六三＂高科技基金
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