化学气相沉积碳化硅

来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bittermonkey

【作者】

：

Haig. WR 静音

【出处】

：

光电子技术与信息

【发表日期】

：

1992年3期

【关键词】

：

碳化硅化学气相沉积半导体材料

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