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低温多晶硅薄膜晶体管(p—SiTFT)制作新技术
低温多晶硅薄膜晶体管(p—SiTFT)制作新技术
来源 :光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yigeyige
【摘 要】
:
制作低温多晶硅薄膜晶体管层是制作高性能液晶显示器件技术的一个重要组成部分。本文对制作液晶显示器件的多晶硅薄膜晶体管层工艺及其改进进行了讨论。
【作 者】
:
季旭东
【机 构】
:
华东电子集团公司
【出 处】
:
光电技术
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
低温多晶硅
液晶显示
薄膜晶体管
技术制造
p—SiTFT
物理蒸镀-溅射法
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制作低温多晶硅薄膜晶体管层是制作高性能液晶显示器件技术的一个重要组成部分。本文对制作液晶显示器件的多晶硅薄膜晶体管层工艺及其改进进行了讨论。
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