论文部分内容阅读
以回收提纯硅片线锯屑粉与气相白炭黑为原料,合成出晶须状氮氧化硅粉体。实验研究了原料摩尔配比、保温温度、保温时间等工艺参数对氮氧化合成产物的影响。结果表明,回收提纯硅片线锯屑粉与气相白炭黑摩尔比为2.0∶1~2.6∶1、保温温度为1380℃、保温时间为4 h条件下可获得较为纯净的氮氧化硅粉体。产物中同时伴生一种类似于O1-Si Al ON结构的氮氧化硅低温亚稳相（LM Si2N2O）,且该亚稳相含量随着原料摩尔配比的降低、温度的升高、时间的延长逐渐降低。所形成的氮氧化硅呈晶须状的原因与白炭黑的气化挥发及随后