【摘 要】
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脉冲涡流检测技术能够快速方便地检测金属导体厚度，为了研究脉冲涡流检测技术在金属膜厚测量中的应用，首先设计了测量系统传感器，并分析了其工作原理；采用ANSOFT软件对不同测试金
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脉冲涡流检测技术能够快速方便地检测金属导体厚度，为了研究脉冲涡流检测技术在金属膜厚测量中的应用，首先设计了测量系统传感器，并分析了其工作原理；采用ANSOFT软件对不同测试金属厚度下传感器的响应信号进行了仿真计算；然后搭建了实际的测厚系统，对不同厚度的铝箔进行了检测，并对实验数据采用三次样条插值进行了拟合，得到了金属膜厚与电压信号的关系。研究结果表明：采用脉冲涡流技术能够较准确地测量出金属膜的厚度。
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