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通过不同温度的热处理来改变磁控溅射法沉积的CoTaZr薄膜的组织结构，研究了热处理温度对薄膜微观结构及磁电性能的影响，并将这些薄膜作为电感磁芯，研究其热处理温度对电感低频段（频率范围为0～3MHz）性能的影响。结果表明，镀膜态薄膜呈非晶态，随热处理温度的升高，薄膜晶化逐渐明显，其电阻率逐渐降低；150℃和300℃热处理均有利于提高薄膜的饱和磁化强度M以及薄膜电感的电感量L，150℃热处理可提高薄膜电感的品质因数Q，所以最佳的热处理温度为150℃。