2m光栅线纹自动测量仪

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描述一台能够对长在1m的线纹尺和长度达2m的光栅尺(和光栅线位移传感器)进行自动测量的激光干涉仪。干涉仪设计成双干涉光路系统,以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条件计数原理,对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测,并能对光栅信号的质量进行评价。测量过程中,对空气折射率实现了实时修正。
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