【摘 要】
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针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统
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针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面的反射率为 0 .5时 ,能获得较大的输出反射光强和反衬度 ,并保证了输出反射光强尽可能地随微镜位移在 0～λ/ 4范围内呈线性变化 ;可动微镜的温度响应值可达 2 .0 5× 10 -4,噪声等效温差为19.5mK ,热响应时间为 1.5 4× 10 -3 s。
In view of the proposed optical readout thermal imaging system, the optical and thermal characteristics of its focal plane array are analyzed in detail. The reflectivity of the two reflecting surfaces of the Fabry-Perot micro-cavity is mainly discussed. Temperature response, noise equivalent temperature difference and response time in four aspects. Theoretical analysis shows that when the reflectivity of the two reflection surfaces of the Fabry-Perot microprocesses is 0.5, a large output light intensity and contrast can be obtained, and the intensity of the output reflection light is guaranteed to be as small as possible. The displacement of the mirror changes linearly in the range of 0 ~ λ / 4. The temperature response of the movable micromirror can reach 2.05 × 10 -4, the noise equivalent temperature difference is 19.5 mK, the thermal response time is 1.5 4 × 10 - 3 s.
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