利用纳米硬度试验法确定Cr／Cu梯度材料的变形特性

来源 :力学季刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户：llzx373

【摘要】

：

利用纳米硬度仪研究了在Cu基底上的Cu/Cr梯度膜的机械性能.梯度膜是通过将Cu靶和Cr靶同时溅射到Cu基底材料上,但两个靶的相对溅射功率随溅射时间变化而制备.利用Oliver and P

【作者】

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贺鹏飞贾安珏郑百林戴瑛 A.K.Soh

【机构】

：

同济大学固体力学教育部重点实验室,香港大学工学院机械工程系

【出处】

：

力学季刊

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

铬/铜梯度薄膜纳米压痕力学性能变形 Cr/Cu functionally graded thin films nano-indentation mec

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利用纳米硬度仪研究了在Cu基底上的Cu/Cr梯度膜的机械性能.梯度膜是通过将Cu靶和Cr靶同时溅射到Cu基底材料上,但两个靶的相对溅射功率随溅射时间变化而制备.利用Oliver and Pharr方法得到了膜随其厚度变化的硬度和弹性模量.然后利用加载/卸载/再加载的方法得到了在不同深度(即膜的厚度)压头平均压力与相对压入深度之间的关系曲线,在此曲线上可以明显反映出材料的屈服特性.

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