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高功率激光电离垂直飞行时间质谱（LI—O—TOFMS）应用于薄层的深度分析是目前一项相对新颖的分析技术，不仅可以分析薄层的厚度，而且可以同时确定其中的元素组成及其随深度的分布情况。激光参数：波长532nm，脉宽4．5ns，功率密度9x10^9W/cm^2。该项分析技术可以分析单镀层和多镀层的薄层样品。薄层的分辨厚度范围达到微米水平。相比其它薄层分析技术，LI-O-TOFMS是一项多功能的深度分析工具。