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期刊论文
基体中铁对化学气相沉积TiN的影响
基体中铁对化学气相沉积TiN的影响
来源 :华东冶金学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:siyang2003
【摘 要】
:
本文用X射线衍射和扫描电镜能谱研究了铁基基体中铁的扩散,及其对TiCl_4/H_2/N_2系统,化学气相沉积TiN涂层的组织、结构和性能的影响。利用本文提出的铁原子表面扩散机理,以
【作 者】
:
陈二保
王豫
【机 构】
:
华东冶金学院冶金工程系,华东冶金学院冶金工程系
【出 处】
:
华东冶金学院学报
【发表日期】
:
1989年4期
【关键词】
:
化学气相沉积
TIN
涂层
铁
基体
Chemical Vapour Deposition Titanium Nitride Coating.
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本文用X射线衍射和扫描电镜能谱研究了铁基基体中铁的扩散,及其对TiCl_4/H_2/N_2系统,化学气相沉积TiN涂层的组织、结构和性能的影响。利用本文提出的铁原子表面扩散机理,以及利用其他研究者的结论,能解释实验结果。
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