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期刊论文
电离辐照Si—SiO2的电子能谱深度剖析
电离辐照Si—SiO2的电子能谱深度剖析
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lss81
【摘 要】
:
应用灵敏的电子能谱分析技术,对经电离辐射辐照的Si-SiO_2结构进行深度剖析。实验结果表明:存在于Si-SiO_2中的界面区,在电离辐射的作用下向SiO_2表面方向展宽,界面中心向SiO
【作 者】
:
刘昶时
吾勤之
【机 构】
:
中国科学院新疆物理研究所,中国科学院新疆物理研究所
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1990年10期
【关键词】
:
SI-SIO2
XPS
AES
电离
辐照
Si-SiO_2 XPS AES Interface Bias field
【基金项目】
:
中国科学院青年奖励基金
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应用灵敏的电子能谱分析技术,对经电离辐射辐照的Si-SiO_2结构进行深度剖析。实验结果表明:存在于Si-SiO_2中的界面区,在电离辐射的作用下向SiO_2表面方向展宽,界面中心向SiO_2表面方向移动。展宽与偏移的程度与辐照条件紧密相关。文中对实验结果以弱应力键断裂模型进行了分析。
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