【摘 要】
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在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起.基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能产生较大的悬浮力,应用有限元方法对其进行
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在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起.基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能产生较大的悬浮力,应用有限元方法对其进行建模仿真,研究了线圈的圈数、厚度和内径对悬浮力的影响规律.结果表明:随着悬浮线圈的圈数增多,悬浮力增大且幅度增加;线圈厚度增加,悬浮力减小;随着悬浮线圈内径增加,悬浮力呈线性增加.采用了光刻、电镀、溅射等微细加工工艺制造了MGELR的定子.初步的实验结果验证了该设计方案是可行的.
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