【摘 要】
：
利用射频磁控溅射的方法在柔性PI衬底上制备ITO薄膜,通过SEM(扫描电子显微镜)、XRD(X射线衍射仪)、四探针测试仪、分光光度计,分析了通氧量、溅射功率、工作气压及衬底温度对
【机 构】
：
北京理工大学光电学院及北京市混合现实与新型显示工程技术研究中心,北京京东方光电科技有限公司,
论文部分内容阅读
利用射频磁控溅射的方法在柔性PI衬底上制备ITO薄膜,通过SEM(扫描电子显微镜)、XRD(X射线衍射仪)、四探针测试仪、分光光度计,分析了通氧量、溅射功率、工作气压及衬底温度对ITO薄膜表面形貌、成膜质量和光电特性的影响。结果显示:在纯氩气环境下,溅射功率为200W,工作气压为1.5Pa,在衬底温度为185℃~225℃时,薄膜的光电特性最好,ITO薄膜的电阻率为3.64×10-4Ω·cm,透过率为97%。
其他文献
目的分析社区高龄独居老人健康状况、社区卫生服务利用情况和需求以及社区卫生服务满意度。方法以访谈形式,对五里桥社区80岁以上的独居老人进行问卷调查,获得有效问卷124份
对三维地质建模概念的提出,三维地质建模数据模型、结构、方法及软件开发等方面的进展情况进行了总结;并介绍了三维地质建模技术在矿山开采、工程地质、油田基础地质研究三个
本文探讨了矿山粉尘的危害及其产生的原因,提出要采取有效的措施,对其主要污染源头进行治理,以使采矿工作更加生态环保,从而推动矿业的发展。
张大千（１８９９—１９８３年），原名正权，单名爰，字季爰，号大千，别号大千居士，四川省内江市人，著名的国画大师，被徐悲鸿誉为“五百年来第一人”。①１９６８年，台湾中国文化大学授予他文学博士荣誉学位。１９７４年，美国加
<正> 溃疡性结肠炎(也叫慢性非特异性溃疡性结肠炎和特发性直肠结肠炎),多累及直肠或远端结肠,也可侵犯全部结肠。目前病因未明,在临床较难治。临床表现主要为腹痛、腹泻、脓
<正> 一、发展概况 PET已有四十多年的发展历史。前期几乎全部用于生产涤纶纤维,从五、六十年代起,美、日等国相继开发了薄膜、聚酯瓶、工程塑料、涂料、粘合剂等非纤产品,使
本文以朱集西矿这种典型的大采深、地温高、机电设备散热量大,热害程度严重的大型矿井为研究对象,提出地面两级制冷,大温差输送冷量,采用高低压换热器解决高静压的方法,解决
<正> 祖国医学对盆腔炎而致输卵管炎症阻塞性不孕症的治疗,历史悠久,经验丰富。通常以清热解毒、活血化瘀等法辨证施治。但不论全身或局部治疗,均不易使输卵管病灶局部达到满
<正>我国的汽车自主之路应该借鉴韩国模式,韩国虽然也用了很多国外的技术,但是知识产权是自己的。而我们根本无法突破这些技术壁垒,还是买国外的东西,这是我们与韩国最大的区
针对全媒体时代日益激烈的媒介生存竞争,以《南方周末》为研究范例,以"深度报道"这一领域为突破,结合报纸媒体自身的特点,在报道主题选择、记者素养培养等方面做了分析,为报