【摘 要】
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通过磁控溅射在锆钛酸铅陶瓷(PZT)基体表面沉积一定面积的NiTi SMA薄膜,用显微硬度测试分析薄膜与PZT基体间的结合力.结果表明:随沉积膜宽度增加,NiTi SMA薄膜与PZT基体的结
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所质检中心,
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通过磁控溅射在锆钛酸铅陶瓷(PZT)基体表面沉积一定面积的NiTi SMA薄膜,用显微硬度测试分析薄膜与PZT基体间的结合力.结果表明:随沉积膜宽度增加,NiTi SMA薄膜与PZT基体的结合力减小;膜宽L<3mm的NiTi SMA薄膜,其膜基结合力最高达351N/mm~2,比膜宽L≥3mm的结合力高2倍多.
A certain area of NiTi SMA thin film was deposited on the surface of PZT substrate by magnetron sputtering and the adhesion between the thin film and the PZT matrix was analyzed by microhardness test.The results showed that with the increase of the width of the deposited film NiTi SMA The bonding strength between the film and the PZT substrate is reduced. NiTi SMA film with a width L <3mm has a film-based bonding strength of up to 351N / mm ~ 2, which is more than two times higher than that of a film with a width of L≥3mm.
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