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本文报道了利用透射电子显微镜和Raman谱两种方法对a-Si:H激光结晶过程的研究。结果表明结晶后得到的四个结晶区中LP-LCR,OD是液相结晶区,LP-LCR晶粒尺寸达到做器件水平。FCR-2,FCR-1是固相结晶区。利用温场模型对结品过程中的现象做了解释。并且对两种观察方法进行了比较。
用透射电镜和Raman谱研究非晶硅晶化过程
【摘 要】
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本文报道了利用透射电子显微镜和Raman谱两种方法对a-Si:H激光结晶过程的研究。结果表明结晶后得到的四个结晶区中LP-LCR,OD是液相结晶区,LP-LCR晶粒尺寸达到做器件水平。FCR
【机 构】
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南京大学物理系,南京大学物理系
【出 处】
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南京大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1991年4期
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