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期刊论文
KOH溶液无掩膜腐蚀加工硅对称梁技术研究
KOH溶液无掩膜腐蚀加工硅对称梁技术研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yufeng_09
【摘 要】
:
本文介绍了利用KOH腐蚀液对硅台阶,台面等三维结构进行无掩膜腐的新技术,应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械结构,从而使腐蚀工艺的灵活性大为增加。
【作 者】
:
李昕欣
鲍敏杭
【机 构】
:
复旦大学电子工程系传感器研究室
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1996年6期
【关键词】
:
KOH溶液
无掩膜腐蚀技术
硅对称梁
腐蚀工艺
【基金项目】
:
国家八五科技攻关,国家自然科学基金
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本文介绍了利用KOH腐蚀液对硅台阶,台面等三维结构进行无掩膜腐的新技术,应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械结构,从而使腐蚀工艺的灵活性大为增加。
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