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CO2激光控制断裂切割氧化铝陶瓷基片最佳条件的探讨
CO2激光控制断裂切割氧化铝陶瓷基片最佳条件的探讨
来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haibei007
【摘 要】
:
利用 CO2 激光连续脉冲频率的快慢 ,平均功率的大小 ,加上辅助空气吹气压力的变化及其之间的相互作用 ,探讨氧化铝陶瓷基片控制断裂切割的最佳模式。
【作 者】
:
张铭峰
张胜雄
郑劭家
刘海北
【机 构】
:
高雄科学技术学院机械系!高雄,中央大学光电科学研究所!中坜,中央大学光电科学研究所!中坜,中央大学光电科学研究所!中坜
【出 处】
:
中国激光
【发表日期】
:
2000年11期
【关键词】
:
CO2激光
断裂切割
氧化铝陶瓷片
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利用 CO2 激光连续脉冲频率的快慢 ,平均功率的大小 ,加上辅助空气吹气压力的变化及其之间的相互作用 ,探讨氧化铝陶瓷基片控制断裂切割的最佳模式。
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