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PEC-A2样品表面处理装置是岛津公司为EPM-8l0Q电子探针样品表面进行喷金处理装置,其主要包括抽真空系统和喷金电流控制系统,抽真空系统由机械泵和油扩散组成,真空度可达到6.7×103Pa torr.
岛津PEC-A2样品表面处理装置真空系统故障维修
【摘 要】
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PEC-A2样品表面处理装置是岛津公司为EPM-8l0Q电子探针样品表面进行喷金处理装置,其主要包括抽真空系统和喷金电流控制系统,抽真空系统由机械泵和油扩散组成,真空度可达到6.7
【机 构】
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福建省测试技术研究所
【出 处】
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福建分析测试
【发表日期】
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2001年3期
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