【摘 要】
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铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成.与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051;西安交通大学信息与通信工程学院,西安710049
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铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成.与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离度、低损耗、高功率容量等特点,同时又保留了平面微带器件集成度高等优势.系统地研究了铜基空气微同轴结构及制备工艺,并利用该工艺制备了W波段微同轴传输线和功率合成器.样件测试结果显示,基于微同轴技术的射频器件在高频下表现出可以与波导结构制作的器件相比拟的插入损耗和合成效率,在110 GHz处实测的传输线插入损耗≤0.045 dB/mm,功率合成器的一级合成效率(即两路合成)大于92％.该测试结果证明了微同轴结构及工艺的有效性和可靠性.
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