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本文介绍了一种能快速准确分析薄膜材料微观结构的新技术──透射电子显微镜样品后扫描能量过滤电子衍射分析法．该技术利用常规的透射电子显微镜把选区衍射花样投到一个顺序电子能量损失谱仪的入口光阑上，让微机输出脉冲电压到样品后偏转线圈使衍射花样顺序扫过光阑进入谱仪中．检测零损失电子强度随散射矢量的径向分布，从而导出能显示近邻原子间距和配位数等结构信息的约化密度函数．根据多晶金薄膜的试验结果显示．文中给出的该项技术测出的最近邻原子间距可精确到０．００２ｎｍ，配位数的测定可精确到０．５．