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采用物理气相沉积的方法，以导电玻璃为基材沉积金属Ti薄膜，并将其作为阳极，在1％HF溶液中恒压阳极氧化，制备了具有纳米孔阵列结构的TiO2薄膜。研究表明，形成的TiO2薄膜具有多孔结构，微孔均为贯穿孔，孔形基本为圆形，孔径均匀，孔径大约为50nm。在15℃溶液中阳极氧化相同时间制备的TiO2氧化膜的厚度显著大于25℃溶液制备的氧化膜厚度。TiO2氧化膜的厚度随着阳极氧化时间的延长而增加。