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该文主要介绍了LED用蓝宝石图形化衬底的基础知识。图形化衬底可分为湿法蚀刻(WPSS)和干法蚀刻(DPSS)两种，其基本的制作原理。两种图形化衬底的主要特性参数探讨，以及量测和评价方法。
关于LED用蓝宝石图形化衬底探讨
【摘 要】
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该文主要介绍了LED用蓝宝石图形化衬底的基础知识。图形化衬底可分为湿法蚀刻(WPSS)和干法蚀刻(DPSS)两种，其基本的制作原理。两种图形化衬底的主要特性参数探讨，以及量测和评
【机 构】
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福建三安光电股份有限公司
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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2017年2期
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