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针对新型免修整柔性砂轮高效和消振的特性 ,将其应用于半导体石英基板材料的磨削加工。实验采用大进给和深切进给的高能率磨削方式 ,研究新型砂轮对于硬脆材料的磨削性能
免修整型柔性砂轮对硬脆材料的磨削特性
【摘 要】
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针对新型免修整柔性砂轮高效和消振的特性 ,将其应用于半导体石英基板材料的磨削加工。实验采用大进给和深切进给的高能率磨削方式 ,研究新型砂轮对于硬脆材料的磨削性能
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2000年2期
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