CVD Micro-diamond Coated Tool Lapping with Sapphire Wafer

来源 :南京航空航天大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fffdsa4te

【摘要】

：

Micro-diamond films were prepared on YG6 substrate by hot filament chemical vapor deposition method. An innovative micro-diamond coated tool was used to the lap

【作者】

：

Feng Wei Lu Wenzhuang Yu Yapin

【机构】

：

CollegeofMechanicalandElectricalEngineering,CollegeofMechanicalEngineering

【出处】

：

南京航空航天大学学报：英文版

【发表日期】

：

2017年1期

【关键词】

：

micro-diamond film SAPPHIRE surface ROUGHNESS LAPPING micro-diamond filmsapphire

【基金项目】

：

supported by the National Nature Science Foundation of China (No.51275230),,NUAA Research Funding (No.kfjj20150507),,Six Talent Peak of Jiangsu(No.ZBZZ-002),,the Funding of Jiangsu Innovation Program

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Micro-diamond films were prepared on YG6 substrate by hot filament chemical vapor deposition method. An innovative micro-diamond coated tool was used to the lap sapphire wafer. The effect of load, rotating speed，and lapping time on material removal rate(M

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