采用空间光调制器的光变图像光刻系统

来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong494
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用激光干涉型光学头产生干涉条纹,采用空间光调制器(SLM)进行子图输入实现光学可变图像(DVD)的快速光刻,分辨率可达5 080 dpi,平均运行效率达8 000 dots/s(1 270 pdpi)以上.研制了大幅面激光光刻系统,给出了实验结果.
其他文献
现代医学日益注重从生理和心理的整体视角来应对病患,它将萨满教医疗文化视为一种应当被理解,甚至可以被开发和利用的历史遗产。现代医学与萨满教医疗文化之间的比较研究既涉
萨满昏迷术及其萨满在昏迷状态下“通神”的生理、心理、思维机制,可以说是萨满教研究的制高点。文章从选萨满、传授萨满知识、萨满“通神”三方面讨论了萨满性意识是一种潜
利用ns脉冲激光,研究了CS2在420-470nm波长范围内的非线性吸收和光限幅特性。实验结果表明,CS2对420-450nm波长的脉冲激光具有大的非线性吸收和优良的光限幅性能,随着波长的增加
清洁发展机制(CDM)作为一项基于发造国家温室气体减排义务之上的发达国家和发展中国家的合作机制,蕴藏着巨大商机,目前已在国际上得到广泛应用。简要介绍了清洁发展机制的概念和
期刊
<正>在当前和今后一个时期,产教融合的办学体制机制和人才培养模式创新、深化学习方式和教学模式改革,将是我国高等职业教育改革的重要内容。山东电力高等专科学校(以下简称"
针对城市地理时空数据的专业类别多、数据格式多、数据分散等诸多特性,提出了栅格式数据、图形式数据、要素式数据、类GIS数据、ArcGIS数据5大类地理时空数据的管理方案。采
This paper has researched on six kinds of the corporate DNA models, which have set up and analyzed its limitations, regarded the corporation as a vital organism
知识服务是公共图书馆服务的高级形式。国家高新技术产业开发区公共图书馆具有服务于园区大众和产业的双重职能,开展知识服务能够形成对高新区“创新经济体”高质量发展的智
为了掌握光束入射角对角锥合作目标激光测距接收功率的影响规律,分析了光束入射角和角锥棱镜反射器有效反射面积的关系,利用有效反射面积推导了角锥棱镜反射器的激光雷达横截面