金刚石表面状态控制及应用探讨

来源 :现代工业经济和信息化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:D159357
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探讨了金刚石表面高效机械平整化控制技术,提出了高效机械平整化控制和等离子体刻蚀表面状态控制方法,从而更好地服务于机械制造工艺。
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