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利用Boltzmann-Matno变换方法,求解与浓度有关的扩散方程,得到了砷硼快速热退火再分布的解析模型.实验证明本解析结果较好地符合快速热退火再分布的实际规律.
适用于获得砷硼浅结的快速热退火解析模型
【摘 要】
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利用Boltzmann-Matno变换方法,求解与浓度有关的扩散方程,得到了砷硼快速热退火再分布的解析模型.实验证明本解析结果较好地符合快速热退火再分布的实际规律.
【机 构】
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复旦大学电子工程系,Dept.of E.E.,UCCS
【出 处】
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复旦学报(自然科学版)
【发表日期】
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1987年03期
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