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研究了陶瓷二次金属化对陶瓷-金属封接可靠性的某些影响,指出用一定时间酸溶液处理或高温(干氢)烧结工艺,会使其可靠性有所增长,推荐一次与二次金属化工序连续进行,将有利于封接质量的提高。
陶瓷二次金属化和封接的可靠性
【摘 要】
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研究了陶瓷二次金属化对陶瓷-金属封接可靠性的某些影响,指出用一定时间酸溶液处理或高温(干氢)烧结工艺,会使其可靠性有所增长,推荐一次与二次金属化工序连续进行,将有利于
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2009年02期
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