【摘 要】
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采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种Pt薄膜热式微流量传感器,并且以水和甲醇为工质,对该热式微流量传感器的工作特性进行了实验研究和数值模拟。结果表明,在50μL/min~300μL
【机 构】
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中国科学院广州能源研究所微能源系统实验室中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,中国科学院研究生院
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采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种Pt薄膜热式微流量传感器,并且以水和甲醇为工质,对该热式微流量传感器的工作特性进行了实验研究和数值模拟。结果表明,在50μL/min~300μL/min的参数范围内,其工作曲线具有较好的线性测量特性,在薄膜高功率工作及采用小比热容的工作液时,传感器有更高的敏感性;结合理论分析与传热流动的数值模拟,研究了传感器的传热特性,模拟与实验吻合较好。该研究结果将为传感器设计封装的优化提供理论参考和依据。
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