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在真空紫外强吸收波段采用“逐层”（LBL）设计法。通过阐述“逐层”设计的理论基础和膜材选择的基本原则，运用MatLab软件，用解析加复平面作图法设计了对应于50-200nm波段的高反膜系。以熔融石英基底上硅、碳组成的膜系为例，用这种设计方法获得的平均反射率最高可达64％。对比常规周期多层膜，这种设计法可以明显地提高强吸收波段的反射率。