PHASE ANALYSES FOR DUAL ION BEAM DEPOSITED ZrO2 FILMS ON NaCl SUBSTRATE

来源 :Nuclear Science and Techniques | 被引量 : 0次 | 上传用户：qtedu

【摘要】

：

ZrO2 films on NaCl(100) substrate produced by oxygen ion bombardment and argon ion sputtering of Zr are analysed using TEM,XRD and XPS.The result of TEM shows t

【作者】

：

黄宁康，汪德志

【机构】

：

InstituteofNuclearScienceandTechnology,InstituteofNuclearScienc

【出处】

：

Nuclear Science and Techniques

【发表日期】

：

1994年4期

【关键词】

：

ZRO2薄膜氯化钠衬底离子束沉积 ZrO_2 film Dual ion beam deposition Ion Sputtering TEM XR

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ZrO2 films on NaCl(100) substrate produced by oxygen ion bombardment and argon ion sputtering of Zr are analysed using TEM,XRD and XPS.The result of TEM shows that only cubic phase exists for the ZrO film produced by oxygen ion bombardment with 30μA/cm^2

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